Vorlesung: Hochfrequenztechnik und elektrostatische Substratklemmung für technische Plasmen

21.08.2018 - Lara Kristin Zeitel

Dr. Michael Klick hält vom 18.09. bis zum 21.09.2018 in Raum ID 04/653 also von Dienstag bis Freitag, in der Zeit von jeweils 9.00 bis 16.30 Uhr eine Vorlesungsreihe zum Thema "Hochfrequenztechnik und elektrostatische Substratklemmung für technische Plasmen". Die Vorlesung wird auf Deutsch gehalten. Das Skript der Vorlesung ist in Englisch und wird aus Ausdruck verteilt. Notwendig sind Grundlagen der E-Technik, Elektrische und magnetische Felder. Empfohlen: "Plasmatechnik I", Prof. Awakowicz und "Einführung in die Plasmaphysik", Prof. von Keudell. Ergänzend wäre vorbereitend "Technische Hochfrequenzplasmen" von Dr. Schulze hilfreich, aber kein Muss. Anmeldungen werden unter elke.konhaeuser@rub.de, michael.klick@plasmetrex.com oder persönlich in Raum ID 1/129 entgegen genommen.